极紫外光源产生方法

极紫外光，又称极端紫外线辐射，是指电磁波谱中波长从121 纳米到10 纳米的电磁辐射。

根据普朗克-爱因斯坦方程，其光子能量从10.25电子伏特到124电子伏特（分别对应于121纳米到10纳米）。

自然现象，如太阳日冕等高温天体，可以产生极紫外光人工方法，包括：等离子体和同步辐射光源等。

极紫外光源产生方法

一种极紫外光源产生方法。一种极紫外光源，其包括配置为用以产生第一预脉冲激光光束、第二预脉冲激光光束、及主脉冲激光光束的激光光源。

在一些实施例中，在极紫外光容器内使用第一预脉冲激光光束照射液滴以形成重成形液滴。

在一些例子中，液滴包括锡液滴。

在多种实施例中，随后通过使用第二预脉冲激光光束照射重成形液滴以形成种子等离子体。

随后，且在一些例子中，使用主脉冲激光光束照射种子等离子体以加热种子等离子体，进而产生极紫外光。

极紫外光源产生方法

极紫外光系统可以使用激光等离子体(laser produced plasma，LPP，激光生成等离子体)的极紫外光源来产生极紫外光。